1、操作程序

1.1 开炉准备

1.1.1 检查各电接头是否紧固，各组成部分是否清洁、正常。

1.1.2 打开水冷系统总开关及各分开关，保证水压0.1～0.3MPa。

1.1.3 打开压缩空气开关。

1.1.4 打开充气系统总开关。（如工艺不需要，可不开）。

1.1.5 电源总开关合闸。

1.1.6 将电控箱上的各路开关合闸。

1.1.7 调节控制仪表，使其符合真空钎焊工艺要求。

1.1.8 油扩散泵加热：当扩散泵为真空状态时，打开维持阀，启动维持泵，对扩散泵抽真空延时，对油扩散泵提前加热。

1.2 开炉步骤

1.2.1 打开炉门，将工件送入炉内，然后关闭炉盖。

1.2.2 打开旁路阀，启动滑阀泵，对炉子抽真空。

1.2.3 当炉内真空度≤670 Pa时，注意观察罗茨泵轴基本不转，启动罗茨泵。

1.2.4 当炉内真空度达到10 Pa时，且扩散泵加热到温（约90～120分钟），关旁路阀，关维持阀，停维持泵。打开主路阀，打开扩散泵上的高真空阀。由扩散泵对炉体抽真空。

1.2.5 当炉内真空度达到工艺规定值时，即可通电加热，炉子开始升温、保温（按设定的工艺曲线程控进行）。

1.2.6 钎焊加热工艺结束后炉子断电停止加热。

1.2.7 关闭高真空阀。停扩散泵加热并加强泵体的冷却。

1.2.8 停罗茨泵，打开维持阀，启动维持泵。延时关主路阀，停滑阀泵。

1.2.9 加强炉体冷却（此项按需要）。

1.2.10 当炉内温度降至可出炉温度时（由钎焊工艺定）做出炉准备（或按工艺要求提前充入高纯氮气，加速降温）。

1.2.11 打开炉体放气阀，使炉内压强恢复至大气压力，关闭炉体放气阀。

1.2.12 打开炉门取出工件。

1.3 停炉

1.3.1 关闭充气系统总开关。

1.3.2 当油扩散泵油温低于50℃时，关维持阀，停维持泵。此时应打开旁路阀，启动滑阀泵，使炉内保持在1×10^-1Pa（真空计显示值）的真空状态，再关旁路阀，停滑阀泵。

1.3.3 关闭压缩空气开关。

1.3.4 关闭水冷系统总开关。

1.3.5 断开电源总开关。

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2、维修与保养

2.1 炉子及控制柜外表面应经常擦拭，保持清洁干净，清理设备时应切断设备电源和压缩空气。

2.2 炉内不干净或有灰尘时，要用丙酮或无水酒精浸湿过的绸布擦拭干净并使其干燥。

2.3 每月定期清理一次炉门内壁上的镁块。

2.4 长时间不使用炉子，再重新启用时应进行烘炉处理，温度达到620℃，真空度小于10^-3Pa时保温一小时。

2.5 每班班前检查循环水池水量是否充足，否则应加冷却水。冷却水压力应大于0.1MPa，否则应检查水路过滤网是否堵塞。

2.6 每班班前检查压缩空气压力应大于0.5MPa，否则应检查管路是否漏气，压力达到规定值才允许开炉。

2.7 焊接过程中应经常检查炉体、扩散泵、冷阱、除镁器及其它真空泵的外表温度，当温度过高时，应检查冷却水管路是否堵塞，并及时清理。

2.8 密封部位的零部件拆装时，应用丙酮或无水酒精清洗，干燥后涂上真空脂再装上。

2.9 电气控制系统的电接头应保持干净、紧固。每开炉前应检查各紧固电接头是否紧固。

2.10 应经常检查炉子的绝缘电阻，其值不应小于100Ω，当小于100Ω时，要认真检查电热元件、绝缘件、电极与隔热屏的电阻等，及时排除故障后方可开炉。

2.11 机械传动件按一般设备润滑要求，定期加油或换油。

2.12 真空机组、阀门、可控硅调压器、仪器仪表等配套件均按出厂产品所带的使用说明书予以维修和保养。

2.13 工件和夹具应是清洁、干燥的，防止水分及污物进入炉内。

2.14 应停电维修。确需带电情况下维修时，必须保证操作人员、维修人员及设备的绝对安全。

2.15 严格按照操作规程操作，不准随意揿动按钮，拨动开关，非经过正式培训人员严禁操作。

2.16 真空炉的冷却水非常重要，故在整个工作期间不允许中断冷却水，当水泵损坏无法正常供水时应打开应急自来水开关保持冷却水不中断。

2.17 维持泵维护和保养

2.17.1 经常注意油位，油位以泵正常运转时到油标中心为准。油位低于油标中心时应加油。

2.17.2 换油期限按使用条件和能否满足性能要求等考虑，由用户酌情决定，一般新泵建议在100小时左右换油一次，待油中看不到黑色金属粉末后方可加长换油期限。

2.17.3 泵油一般应采用SY1634-701号真空泵油，不可与煤油、汽油混合使用。

2.18 滑阀泵维护和保养

2.18.1 应经常注意油位及油的清洁，新泵工作150小时后换油一次，以后每2-3个月换油一次，如使用条件不好，真空度下降时，可以缩短换油时间。

2.18.2 在寒冷地带，停车后必须将冷却水套内的水全部排净，否则会使水套内的水结冰，破坏泵壳。

2.18.3 如较多时间不使用时，则每隔7-10天开泵一次，开泵时间约一小时左右，以免泵内绣蚀。

2.19 罗茨泵维护和保养

2.19.1 应经常保持泵房环境清洁干燥。

2.19.2 应经常注意各部分润滑的情况，如发现润滑油不足时应及时补充，如发现润滑油不清洁时及时更换，新泵使用30-50小时应换油，以后可根据使用情况确定换油周期。

2.20 扩散泵维护和保养

2.20.1 扩散泵工作过程中冷却水必须保证畅通，停止加热后必须保证泵工作液已完全冷却后方可关闭冷却水。

2.20.2 扩散泵停止工作时，泵内应保持真空状态，以免泵油劣化，被抽气体应是干燥、无腐蚀、无灰尘的气体。

2.20.3 扩散泵如暂时不用，保管期间应保持真空状态，以免泵油污染和各零件腐蚀。并将冷却水套内的剩水吹净。

2.20.4 扩散泵在长期工作后性能会逐渐变坏，应定期检修，泵油是否减少或氧化，按相应要求加油或更换处理。零件及泵腔先用航空汽油清洗，然后用丝绸蘸乙醚或丙酮进行擦洗，并置于80℃～100℃温度下烘干或用电吹风吹干。处理完后，按顺序进行装配，保持泵芯与泵底垂直与泵腔同心，各级喷嘴间隙要按原要求调整好。

3、注意事项

为了在设备安装之后保证永久的安全性，所有者（操作者）必须完成以下要求：

3.1 必须遵守所有的当地应用安全条例和事故预防规则。

3.2 设备以及任何毗邻的操作范围必须只能被授权的受过培训的人员接触。

3.3 如果发生可能的危险情况，必须将设备立即关掉。尤其是充气气瓶的开关！

3.4 提供的设备安全条款必须被有效执行，并且必须定期检验其有效性。

3.5 所有者必须指导他的员工（操作者及其他人员）采取必要的保护装备。

3.6 操作设备的员工必须经过适当的培训，并且清楚在操作设备过程中的内在危险，且知道如何防护。任何可能发生的问题或损害必须向有关的管理者报告。

3.7 员工必须一直拥有合适的身体及精神上的双重健康，这样才能完成任务，从而避免有可能发生的危险。

   3.8 设备在正常的周围环境下使用。它不能在危险区域操作。严禁在设备附近保存和使用易燃物，设备控制柜、炉门及其它设备四周一米内严禁堆放任何杂物。

3.9 设备必须按照规定的用法和程序进行操作。

3.10 在对电气设备进行任何处理之前，根据电力操作规定及当地安全和事故预防措施，必须将需处理的装备或整套设备与电源断开。严禁带电维修。

3.11 设备必须在安全及无技术错误的条件下操作。不能超过最高操作温度。只有合同规定的气体（氮气）才可引入炉中。

3.12 氮气可以导致窒息！所以排出氮气必须从炉内直接排入外部大气中，不得直接排入封闭的厂房内。

3.13 有关的人员在设备安装、开启、操作和维修之前，必须知道和了解使用说明书和安全说明的全部内容。

3.14 充气过程中，炉体和炉盖前方不得站人。